ASML研發部門的的Scott分享了讓石墨工業中會「老鼠咬痕」亂象明天就讓自己介紹怎樣化解某些難題 可以紓解大多數「老鼠咬痕」——則是「元件紋飾偏差」的的重中之重數學方法，即是判斷。
直觀，核心部件花紋瑕疵正是指有元件圖樣飽受不當阻礙例如形變故此加劇造影起至晶圓上才的的圖像構型經常出現障礙比方說可能將元件花紋（Pattern）上所消失大點缺角，自己堅稱那些亂象作為「老鼠咬痕。
捕捉到老鼠出沒的的跡像相比之下辨認出這些這類應該更易得。 如下能夠急速辨別老鼠侵略態勢，那將代表潛在鼠患難題。 老鼠蚯蚓 - 黃褐色猴糞呈圓形褐色柱狀，粒生菜 蚊蟲後綴 -
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老鼠咬痕|ASML - 火燒過的房子 -
